大型半導(dǎo)體硅單晶用熱場有哪些特點(diǎn)

大型半導(dǎo)體硅單晶用熱場，主要指半導(dǎo)體用途8英寸到12英寸的硅單晶棒生長使用的熱場，主要的對比對象是太陽能用途的硅單晶熱場和小尺寸半導(dǎo)體用途的硅單晶熱場。

首先是工藝的差異，大規(guī)格半導(dǎo)體硅單晶的生長工藝更加復(fù)雜：

1、對于熱場的純度要求更高，熱場里面的雜質(zhì)會影響到晶棒的生長，導(dǎo)致各種問題。

2、對于熱場的均勻性要求更高，包括各個物理特性在不同位置的一致性。

3、對于熱場的穩(wěn)定性要求更高，產(chǎn)品在使用過程中，如在壽命的前期、中期到末期，需要性能保持一致，不同批次的產(chǎn)品，性能也需要保持一致。

其次是設(shè)備的差異，大規(guī)格半導(dǎo)體硅單晶生長使用的設(shè)備，爐腔空間比較大。

這樣熱量的損失會比較大，對保溫性能要求也就更高。

本文出自深圳市石金科技股份有限公司，公司是集銷售、應(yīng)用開發(fā)，產(chǎn)品加工的石墨專業(yè)廠家，專門為模具行業(yè)、機(jī)械行業(yè)、真空熱處理爐、電子半導(dǎo)體及太陽能光伏（石墨舟）產(chǎn)業(yè)等提供石墨材料、石墨電極和相關(guān)的石墨制品，歡迎致電13662687390